背压法检测优点：
1. 检测灵敏度高
2. 可以进行批量化检测
吸枪法检测缺点：
1. 不能进行大型密封容器的漏
2. 在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能
吸枪法检测标准：
QJ3212-2005《氦质谱背压检漏方法》、GJB360A-1996《电子及电气元件试验方法方法 112 密封试验》
压氦罐、检漏罐介绍
氦质谱检漏仪——压氦罐、检漏罐
背压法检漏需要的配件。
压氦罐给检测工件压入氦气的腔体。
检漏罐是配合检漏仪检测工件。
可以定制尺寸。
背压法检漏方法
一．压氦
压氦
1. 将被检件放入压氦罐中，对压氦罐抽真空，
2. 压力低于100Pa后，用GB4844-1984规定的纯氦充入，充入时间大于20s
3. 当压力达到要求充氦压力后，保压至要求时间。
4. 取出被检件时，排放压氦罐内氦气至零表压时间大于20S
5. 用氮气或干燥空气将被检件吹5min以上
二．检漏
检漏罐
1.开启检漏仪，使检漏仪处于正常检漏状态
2.将被检产品放入与检漏仪相连的检漏罐内检漏；
3.检测一定时间，取检测漏率值
氦质谱检漏仪的漏率计算公式
一．背压法计算公式（豪尔曼方程)
背压法计算公式（豪尔曼方程)
二．预埋氦背压法计算公式
预埋氦背压法计算公式
三．等效漏率L和测量漏率极限值R₁的计算结果
等效漏率L和测量漏率极限值R₁的计算结果 | 
